载具映射怎样进入晶圆处理作业

载具映射怎样进入晶圆处理作业 由 Archify 生成的数据流图。 01 / 来源记录 02 / 范围整理 03 / 规则核对 04 / 结果对象 05 / 应用与回执 载具与槽位记录 · 五片晶圆各有身份 · 01 / 来源记录 载具与槽位记录 五片晶圆各有身份 晶圆工序尝试绑定 · LOT-S01 / OP-S10 · 02 / 范围整理 晶圆工序尝试绑定 LOT-S01 / OP-S10 获准工艺依据 · RECIPE-S / 3 · 03 / 规则核对 获准工艺依据 RECIPE-S / 3 作业适用核验 · 设备 路径 配方身份 · 03 / 规则核对 作业适用核验 设备 路径 配方身份 工艺处理作业 · PJ-S01逐片对象 · 04 / 结果对象 工艺处理作业 PJ-S01逐片对象 设备执行关联 · 指令与实际事件分开 · 05 / 应用与回执 设备执行关联 指令与实际事件分开 执行事件日志 · 开始 完成 物料位置 · 05 / 应用与回执 执行事件日志 开始 完成 物料位置 来源明细 核对输入 有效依据 条件满足结果 对象与版本 执行回执 图例 主要数据 数据存储 数据流