设备事件怎样进入晶圆状态核对

设备事件怎样进入晶圆状态核对 由 Archify 生成的数据流图。 01 / 来源记录 02 / 范围整理 03 / 规则核对 04 / 结果对象 05 / 应用与回执 逐片事件日志 · 10次送达9条唯一 · 01 / 来源记录 逐片事件日志 10次送达9条唯一 事件身份去重 · 五开始 四完成 · 02 / 范围整理 事件身份去重 五开始 四完成 质量结果与适用规则 · W03隔离 W05缺证据 · 03 / 规则核对 质量结果与适用规则 W03隔离 W05缺证据 晶圆完成与质量核对 · 按工序尝试关联 · 03 / 规则核对 晶圆完成与质量核对 按工序尝试关联 晶圆状态清单 · 三继续 一隔离 一未知 · 04 / 结果对象 晶圆状态清单 三继续 一隔离 一未知 MES状态应用 · 未决对象保持限制 · 05 / 应用与回执 MES状态应用 未决对象保持限制 状态应用回执 · 作业未全部确认 · 05 / 应用与回执 状态应用回执 作业未全部确认 来源明细 核对输入 有效依据 条件满足结果 对象与版本 执行回执 图例 主要数据 数据存储 数据流